8月14日,國務院國資委官網發(fā)布消息,由中國化工黎明化工研究設計院承擔的國家科技重大專項項目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”通過國家重大專項項目組測試與評審,標志著我國極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需高純度含氟電子氣體實現國產化。目前,黎明院高純四氟化碳和六氟化硫的年產能可達2000噸,可完全實現對進口產品的替代。
華創(chuàng)證券指出,集成電路是信息社會的根基。高純度含氟電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必需的清洗和蝕刻氣體,在芯片制作過程中保障極大規(guī)模集成電路的生成,確保電路有效發(fā)揮作用。隨著極大規(guī)模集成電路技術的提升,芯片制程向14納米甚至7納米邁進,對電子氣體的純度要求越來越高。 ……
